微波等离子体技术
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等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。
等离子体是物质存在的第四态，比气态能量更高,等离子体是良导体，受磁场影响。微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点。
